目前为止特气供气的方式，几乎都是以钢瓶的方式进行。一般常用的为高压钢瓶，其气体特性有分为气态和液态两种。一般气体以液态储存于钢瓶内，其优点为供气压力低于一个大气压，无任何泄漏的危险，且供气量为普通高压钢瓶的10倍，低蒸汽压的气体以液态储存于钢瓶内。针对易燃易爆，有毒性腐蚀性的气体，将钢瓶放于特柜中，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱，经过一系列的控制而后进入用气点。一般惰性气体以开放式的气瓶架和阀盘供应。
电子特气管道高纯气体管路的设计要点
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/s，可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，设计不应有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应配置吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
5.对于高纯气体纯度要求不同的用气设备，可采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处需设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
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